苏企研发高精度坐标测量仪达全球顶尖水平

“苏州天准”研发的复合式高精度坐标测量仪获重大突破。 □记者 周建越 摄

“项目研发至今，已申请发明专利20项、发表论文7篇、申请软件著作权3项。”昨天，苏州天准科技股份有限公司举行新闻通气会。由该公司承接的“国家重大科学仪器设备开发专项——复合式高精度坐标测量仪器开发和应用”获重大突破，精度逼近0.3微米的最终目标。由此，中国成为继德国、日本之后掌握同等高精度测量技术的第三个国家。

“这是我国在仪器仪表领域的一个重大自主创新成果，标志着中国在高精度测量领域达到全球顶尖水平。目前，国内还没有其他企业能达到‘苏州天准’这样的水平，该精度级测量已是高端制造业中的皇冠。”中国仪器仪表协会机械测量分会理事长谢华锟说。

记者在该公司恒温车间看到，这款测量仪由测量部分和电脑部分构成。品质工程师陈伟超介绍：

“在测量部分的每个面上都装有探针，仪器可自动扫描，并将测量数据传送到电脑，来获得精准精密数据。”该重大专项在“超精密三轴运动平台、高精度复合式探测系统”两方面取得重大突破。同时，在多测头标定与数据融合、21项误差补偿等领域也都有突破与创新。

近年来，我国精密测量仪器产业发展迅速，但高精度精密测量仪器依然需要进口。“十二五”时期，国家科技部启动“国家重大科学仪器设备开发专项”，重点支持包括精密光学仪器与系统在内的具有市场推广前景的重大科学仪器设备开发。

“1微米相当于一根头发直径的五六十分之一。这0.3微米极精度测量是5年前由德国、日本推出的。三年前，当我听到苏州企业要搞这样的高精度测量仪、看到苏州这帮年轻人在悉心攻关时，我的眼泪都要掉下来了。”今年已70多岁、一生从事测量仪器研究的谢华锟说。

“天准科技”由2016年苏州十大科技创新创业人物之一的徐一华于2005年在苏州科技城创办。他曾参与多项国家“863计划”等重大项目，在微软研究院工作多年。作为中国唯一具有研发亚微米级超高精度测量仪器能力的企业，“天准科技”在2013年承担起这项重大专项后，就会同中国计量科学研究院、天津大学、中国科学院光电研究院等共同攻关。

“事实上，工业4.0及智能制造都呼唤有更精密的测量仪器作为后盾与基础。通过实施好这一国家重大专项项目，将进一步为我国精密制造业提供工业自动化和智能化解决方案。”徐一华说。（记者 周建越）