徐州经济技术开发区半导体集成电路产业异军突起

◎徐州日报全媒体记者 王正喜 通讯员 冯钰茹

这两年，徐州经济技术开发区集成电路产业接踵而至的一批重大项目令人欢欣鼓舞！其中如名声赫赫的台湾正崴半导体，被誉为国内产业标杆的博康（光刻材料及电子级溶剂项目），柔性电路板的隐形冠军上达（柔性封装基板及集成电路封装），国内最大的集成电路原材料供应商鑫华半导体……

这些项目，涉及集成电路整条产业链上从材料到设备、从制造到封测的多个环节。貌似悄然间，集成电路这个充满了科技创新和时代感的产业，在徐州经济技术开发区迅速崛起，让人惊艳！

战略布局半导体集成电路产业

这两年，徐州下大力气进军集成电路产业。2017年9月，市政府第9次常务会议，讨论通过了《关于促进集成电路与ICT产业发展实施方案》：坚持重点突破、政策引导、集聚发展、开放合作的原则，着力推动集成电路、云计算、大数据产业实现重大突破；积极引进和培育一批骨干龙头企业和研发中心，打造一批特色优势品牌产品，建设一批公共服务平台，实现技术高端化、产品多元化、产业集群化，努力把徐州打造成为重要的区域性集成电路与ICT产业基地。

去年以来，徐州经开区把发展半导体集成电路产业作为产业转型的首要任务，决定围绕芯片、分立器件、引线框架、导电玻璃及显示装备、智能手机等五大领域，重点发展集成电路制造、封装与测试、关键设备与材料等，带动半导体全产业链发展，打造区域性集成电路及ICT产业高地，并确定了路线图、时间表，使集成电路产业平地生风、无中有成。

目前，集成电路及ICT是徐州经开区最具爆发力的产业，在半导体材料端、设备端，集聚了全球第三大的半导体晶硅材料生产企业——鑫华半导体、全球领先的光刻设备制造企业——博康集团、国内最大的蓝宝石图形化衬底片生产企业——同鑫光电，正在实施台湾正崴高端手机供应链、鑫华半导体级多晶硅、协鑫大尺寸晶圆、中科院微电子所徐州半导体创新中心、华进半导体等重大项目，并已形成新微半导体加速器、凤凰湾电子信息产业园、金龙湖科技谷三大载体平台。

鑫华半导体年产5000吨电子级多晶硅的建成投产，使徐州经济技术开发区成为中国大陆唯一的集成电路原材料供应地。目前，鑫华半导体材料科技有限公司电子级多晶硅生产线一派忙碌景象。向东距离不远，是正在建设当中的协鑫大尺寸晶圆片项目。建设200万片/月半导体长晶体、30万片/月8英寸半导体大硅片、50万片/月12英寸大硅片和半导体辅材生产配套基地项目。

金龙湖集成电路科技园总投资10亿元，建筑面积约8.9万平方米，是集电子束光刻机、扫描式电子显微镜、无磁电机等集成电路装备及关键零部件于一体的研发制造基地。项目建成后，将有效填补国内高端光刻设备生产空白，打破国际技术封锁和市场垄断。“这将成为高端人才的目的地、技术成果的转化地、创新企业的集聚地，将成为经开区新的‘窗口’和‘名片’”，项目相关负责人告诉记者，目前，一期工程已完成人防地下室封顶，预计5月底主体封顶，9月底一期部分楼宇投入使用；以商招商工作也在同步推进，中科院微电子研究所徐州集成电路产业技术创新研究中心、NBL电子束光刻机全球销售服务中心等6个项目已确定入驻。

创新驱动引领集成电路产业发展

4月11日，徐州市委、市政府在北京举行“2018徐州（北京）产业合作发展恳谈会”，会上，徐州市人民政府与中国科学院微电子研究所签署了集成电路产业发展战略合作协议，在此协议框架下，中科院微电子所“徐州集成电路产业技术创新研究中心”项目落户经开区金龙湖集成电路科技园。该项目的签约落地，为徐州市和经开区打造全国重要的集成电路产业发展基地搭建了崭新平台，提供了坚实支撑，是经开区平台建设取得的又一重大成果。

据了解，中国科学院微电子研究所是中国半导体与集成电路事业的开创者与开拓者，中国微电子技术创新的引领者和产业发展的推动者，国内微电子领域学科方向布局最完整的综合研究与开发机构，是中国科学院 EDA 中心、中国科学院物联网研究发展中心、中国科学院大学微电子学院（国家示范性微电子学院）的依托单位，是国家科技重大专项集成电路装备及工艺前瞻性研发牵头组织单位。微电子所坚持开放办所理念，与国内诸多知名高校和企业结为战略合作伙伴，在相关省市开展科技成果转移转化，为支撑我国微电子产业核心竞争力发挥了不可替代的重要作用。

“徐州集成电路产业技术创新研究中心”，计划总投资5亿元，落户经开区金龙湖集成电路科技园。研究中心将打造一条以成果转化为核心任务，兼顾人才培养、技术研发、产品试制和检测分析等功能的研发中试线。配备光刻、刻蚀、湿法、扩散、注入、薄膜、金属化和测量测试等设备（部分兼容4-6-8英寸），具备半导体器件、Micro LED、MEMS和专用芯片等微电子领域的研发、加工、检测和批量生产能力，同时可为新设备、新材料和新工艺提供测试验证。项目计划2018年底通线。

半导体加速器催生集成电路产业群

黄绿相间的生产线上，射出机正将颗粒状的原材料注塑到一个个微妙的金属磨具中，经过脱脂、烧结、整型、外观等工序，便成了咱们手机、电脑等电子产品中最精妙的零部件。位于徐州经济技术开发区东环街道的新微半导体产业园(加速器）内，台湾正崴集团金属粉末喷出车间已经成功试产。

新微半导体加速器是徐州经开区按照资源集聚、产业互补的原则，科学规划布局的半导体产业重要发展平台之一。新微半导体加速器坚持“高端引领、平台助力”的发展理念，围绕“产业链+大院大所+平台”的发展思路，以高成长性的半导体企业为服务对象，全方位锻造服务集成电路及ICT企业科研生产的技术支撑与服务平台。目前，已与中科院微电子研究所等知名的大院大所建立战略合作关系，建成了博康洁净实验室等平台，加快推动科技成果转化，全力支持企业培大育强、做大做强，持续推动产业向价值链中高端攀升。

园区现有6家企业、7个项目入驻，分别为苹果手机供应链商台湾正崴集团、基因检测与分子诊断仪器生产商江苏圣极基因科技有限公司、集成电路微纳器件加工商博康集团、高端陶瓷基板生产商徐州晶微电子科技有限公司和新型半导体CLED光源生产商和光照明科技有限公司、智能机器人制造商科汇集团。

台湾正崴投资5亿美元在开发区建设苹果手机供应链项目，主要生产传输线、充电器、触控模组、连接器、耳机等手机零部件及其它电子和电机产品。目前，金属喷射粉末、手机FPC柔性板等项目已经在加速器投资建设，成为供应链中的关键环节。小海龟高端基因检测仪器项目在基因检测与分子诊断的上游实现了高端仪器、芯片、试剂和生物信息技术的全自主知识产权和国产化突破，打破了国际巨头在基因测序和分子诊断领域的长期垄断。